水环式真空泵根据工艺过程反应生成物的不同,为防止其附着在泵内,对无油机械真空的排气口加热,水环式真空泵或对上位泵实行温度控制铝质金属的蚀刻则使用三氯化硼等氯化气体,会产生大量的四氯化铝,升华温度高,很容易附着在温度低的部位,未发生反应的气体又多半属于腐蚀性较强的。在钛的蚀刻中常使用氟化系气体,其特性类似于氯化系气体。干蚀刻生产中多用到氟、氯、溴化物系等腐蚀性较强的气体,这些气体与水结合变成强酸,有强烈腐蚀性。因此,要求泵和管道材料具有高度耐腐蚀性能。常规选泵的办法是根据工艺过程需要的真空度选择泵的种类,根据放气量选择泵的抽速。
而在真空电子技术领域里选择真空泵还应该考虑环境的清洁、工艺过程、反应气体的种类、反应产物的粒度等问题。以无油机械真空泵的选择为例,如果反应生成物中含有颗粒,就不应该选用表面接触类型的泵,如活塞型或旋片型泵等。在半导体生产和LCD制造过程中用到无油机械真空泵的地方非常多。用于无反应气体抽出的场合有:上、下卸料室,转移室,液晶注入等用于有反应气体抽出的场合这种泵无任何工作液。因此能保证被抽空间清洁,对周围环境没有污染,有人称之为“绿色”真空泵。使用它可以提高产品质量。例如,显像管内无油污染能保证阴极发射稳定,图像清晰,使用寿命长;镀膜室内无油,能提高膜层性能。
