水环式真空泵低真空装置如真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空单调、真空脱气（钢水处置）等恳求具有工作压力高、排气量大的低真空泵抽气机组，水环式真空泵这类低真空抽气机组主泵常用往复式真空泵、油封式真空泵、水蒸气放射泵、水环泵、罗茨泵等。运用的低真空抽气机组还需根据被抽气体清洁程度、湿度或其他特殊恳求，配置必要的除尘器、单调罐等部件水蒸气在紧缩过程中会凝结成水滴，并与泵混合构成悬浮液，不只会使真空度降落，也能使泵腔与转子生锈，破坏密封面，使泵的极限真空度降落。为此，防止水蒸气对机械泵的污染很重要。防止的措施有：（1）选用带有气镇装置的油封机械泵；（2）装油分别器、离心式分别器或油水分别器，将混有水的机械泵油中止处置，处置过的油再流入泵中运用；（3）运用吸水性强的单调剂；（4）运用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸气，同时还可以阻挠机械泵油向高真空室返流。
油扩散泵真空系统污染与防治油扩散泵真空系统是运用最普遍的真空系统，其获得真空度范围为1.3×10-3～1.3×10-5Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空装置，长期运用后，常见的缺点是真空度抽不上去，或真空度抽不到原来的极限真空水平。与真空室内壁的油蒸气污染、真空工艺过程各种污染物的污染有关，工作蒸汽的选择工作蒸汽压力的选择一般说来,工作蒸汽压力越高,工作蒸汽与冷却水耗量越少。但当工作蒸汽的压力过高时，上述规律并不明显。这是因为过高的蒸汽压力会导致膨胀增加，喷嘴长度增加，引起喷嘴损失增加所致。而且蒸汽压力越高，蒸汽生产费用及设备投资费用越多。因此，一般工作蒸汽压力在0.4~1.6MPa（表压）范围内选取。在泵的工作压力较低（如低于133Pa）时，为了利用废气余热，减小多级喷射泵的第一、二级附面层的影响及改善喷嘴加工工艺性，工作蒸汽压力下限可选择为0.25MPa。
