真空泵机组一般来说，工作蒸汽压力越高，工作蒸汽与冷却水耗量越少。但当工作蒸汽的压力过高时，上述规律并不明显。真空泵机组这是因为过高的蒸汽压力会导致膨胀增加，喷嘴长度增加，引起喷嘴损失增加所致。而且蒸汽压力越高，蒸汽生产费用以及设备投资费用较多。因此，一般工作蒸汽压力在0.4-1.6MPa（表压）范围内选取。在泵的工作压力较低（如低于133Pa）时，为了利用废气余热，减少多级喷射器的第一、二级附面层的影响及改善喷嘴加工工艺性，工作蒸汽压力下限可选择为0.25MPa。B工作蒸汽干度及温度的选择一般无论是过热或是饱和的工作蒸汽，对泵的性能无太大的影响。但是因蒸汽管道的散热及工作蒸汽在喷嘴中膨胀而变湿，使泵的性能不稳定。特别是工作蒸汽压力较低时，泵的喷嘴的膨胀度又很大，使蒸汽出于“过 冷”状态。
此时如果工作蒸汽中含有固体颗粒或液滴，便可能成为冷凝中心，使蒸汽骤然凝结。这样不仅导致喷嘴内工作蒸汽静压力升高，速度降低，还会使喷嘴内积水，加剧了喷嘴的损耗和腐蚀。故一般选择工作蒸汽过热度为10-20℃为宜，蒸汽干度96%以上。工作蒸汽过热度太大，不仅浪费能源，还会使泵的性能不稳定。目前国内外的罗茨泵，多数为卧式结构，泵的进气口在上，排气口在下，这种卧式结构重心低，高速运转时稳定性好。罗茨泵的两个转子是通过一对高精度的齿轮来实现其相对同步旋转的。泵的传动多为直联式的，大泵则有皮带传动的。电动机与传动齿轮，多设在转子轴的两侧，安装拆卸方便。主动轴传递的扭矩较大，轴要有足够的强度和刚度，轴与转子要固结牢靠。罗茨泵的密封很关键，主动轴外伸部分、两个转子的轴承与泵腔之间设有动密封，泵腔与各端盖设有静密封。为了避免罗茨泵的误操作，一般多设有旁路溢流阀。根据对罗茨泵的特殊需要，也有将油的齿轮箱，轴承等部件与泵腔做成分离式结构的。
