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真空泵机组真空阀门选择

点击次数：988 更新时间：2018-12-18 10:16:59 来源：http://www.zkbaa.com/ 【关闭】
             真空泵机组显然气流在沿螺旋道运动过程中，流线经历了由稀疏到稠密的过程，越往高真空段，越集中于凸台侧壁真空泵机组因此侧壁附近的压力要大于同一x-y截面的其他地方，这就用流线的疏密程度来定性地说明了中所研究的同一流道在不同截面处高低压之比的变化规律。由于抽气末端的凸台侧壁存在流线集中的现象，可以考虑在流道的设计中采用变宽度螺旋槽的方法，即在末端逐步减小凸台高度和槽宽，一方面这有利于在保证抽速的情况下增大压缩比，另一方面起到气流背压的作用。此外在气流入口处，凸台顶尖的存在使得流线发生一定的拐弯，从另一个层面来讲，这种结构会减少进入螺旋道的气流量，因此可以考虑将进气口的凸台顶尖用圆角过渡。以区域a的速度矢量图为例，可以发现大部分气体分子沿着螺旋槽往出气口运动，小部分则由凸台与转子的间的间隙往外走，说明牵引分子泵存在间隙泄露问题，从区域a的三维流线图来看，间隙的存在并不会使得进气口h’区域的气流直接沿着间隙空间往出气口运动。
           而是在沿轴的不同截面处被带到螺旋槽中，同样也有少部分螺旋槽的气体会在运动过程中进入间隙区域。理论上来说转子-定子间的间隙越小，则同样尺寸的螺旋槽可实现的压缩比越大，受加工制造水平的限制，零间隙并不可能达到，只能尽量取小。涡轮分子泵做为H-100型无油真空机组的主泵，决定了机组的极限真空度和洁净度。高速旋转的涡轮叶片转子采用五自由度磁悬浮轴承支撑系统。转子高速转动时，会由于质量偏心产生振动甚至是共振，这可能会造成转子定子叶片产生碰撞破坏事故；此外，薄叶片在重力及离心力的作用下，可能会有变形或者失效。为了使设计更为合理，有必要对转子及叶片进行动力学分析，以校验叶片转子结构的可靠性和安全性。子泵工作时，在一定频率的转速下，刚性主轴会产生涡动，叶片转子也会伴随着产生振动，此外高速运动的叶片会由于离心载荷、温度场辐射而产生弹性变形，这些都可能会直接影响着甚至使叶片产生强度破坏。本设计重点对转子结构在自由状态下、离心力等载荷下进行动力学分析，考察影响结构变化的主要因素。
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